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      有机废气处理流程及案例!

      有机废气处理流程及案例!

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      详情

      有机废气处理主要有吸收法、吸附法、焚烧法、生物法等处理技术。吸收法是利用有机气体水溶性的特性,且添加次氯酸钠或过氧化氢等氧化剂,将有机废气中的有机气体去除。此方法因添加氧化剂不但处理成本增加,且易形成二次污染,故吸收法未获得普遍应用。

      有机废气处理

      焚烧法是利用高温焚烧过程将有机废气转换成CO2与H2O,根据废气的焚烧温度可分为750摄氏度-850摄氏度的焚烧化与350摄氏度~450摄氏度触媒焚化二类,因触媒式易造成触媒毒化,故很少采用这种方法。吸附法是利用高孔隙率、高表面积的吸附剂,将废气中的有机气体分子分离,而净化有机废气。适用于集成电路产业的有机废气处理方法有吸附法和焚烧法。


      沸石浓缩转轮焚烧法有机废气处理也是目前被集成电路企业所广泛采用的有机废气处理方法。有机废气进入沸石转轮,转轮上的沸石吸附了废气中大部份有机成分,而使废气中有机成分的含量大幅低降低而成为较干净的空气,一部分较干净的气体排放至大气中,而另一部份气体则进入再生区,经再生区后的废气则含有高浓度的有机成分,这样可降低后续处理程序的操作成本。


      利用沸石浓缩转轮将大风量低浓度的废气浓缩为小风量高浓度,再以直热的方式,将有机成分转化为无害的CO:和水,以达到去除有机物的目的。沸石转轮浓缩燃烧系统的特点是可以进行动态吸附和解析,不存在吸附剂的饱和问题,适当的调整转轮的转速,再生温度、风量等,可获得相当良好的效果,对于有机成分的去除率在90%左右,浓缩倍数可达5-20。


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